堀場HORIBA隔膜式真空計VG-211S

堀場HORIBA隔膜式真空計VG-211S

電容式電流計，隔膜式真空計VG-211S，VG-221S，VG-221，VG-521，VG-527

產品介紹

電容式壓力計 隔膜式真空計

在制造過程中，壓力測量是半導體、平板顯示器、太陽能電池板、硬盤、涂層等眾多產業(yè)中的技術。電容式壓力傳感器通過測量隔膜（稱為膜片）兩側壓力差引起的位移量，并將其轉換為靜電容量，從而計算出壓力。與其他壓力測量方法相比，電容式壓力傳感器具有以下特點。

絕對壓力測量

高精度?優(yōu)秀的穩(wěn)定性

不依賴于燃氣種類的測量

特征

自己溫調型で最小クラス

獨自的電極結構實現(xiàn)了高精度和高穩(wěn)定。

在包含隔膜的接觸氣體部分采用SUS316L

非加熱、55℃溫調、100℃溫調可選

一鍵Re Zero

供給電源　±15VDC、24VDC 支持

CE、RoHS 對應

HORIBA的隔膜式真空計VG-200S是自我溫度調節(jié)型中最小的。電極結構實現(xiàn)了高精度和高穩(wěn)定性。

VG系列

自己溫調型的最小等級是隔膜式真空計。電極結構實現(xiàn)了高精度和高穩(wěn)定性?？梢杂糜诟鞣N真空應用。

特征

自己溫調型では最小クラス

獨自的電極結構實現(xiàn)了高精度和高穩(wěn)定。

采用具有優(yōu)異耐食性的Ni合金作為隔膜

設定點輸出（2點）

警報輸出

專用軟件進行設置點設置

一鍵Re Zero

供給電源　±15VDC、24VDC 支持

CE、RoHS 對應