激光氣體分析儀LG-117堀場HORIBA

激光氣體分析儀LG-117堀場HORIBA

激光氣體分析儀LG-117，四極質(zhì)譜儀MPA8-7-2/65C，MPA8-5-2/100C，MPA8-1-4/300C，SMPA8-1-2/100CR，SMPA8-7-2/65C，SMPA8-5-2/100C，SMPA8-1-4/300C，SMPA8-1-2/100KR，SMPA8-7-2/65K，SMPA8-5-7/100K，SMPA8-1-4/300K，在線氣體監(jiān)測儀IR-427，IR-437，IR-422，IR-432，氣體濃度監(jiān)測器IR-312M，IR-314M，IR-315M，IR-322M，IR-324M，IR-322MB，IR-324MB

產(chǎn)品介紹

激光氣體分析儀LG-117

LG-100系列可以實(shí)時(shí)測量半導(dǎo)體制造中的蝕刻過程所生成的SiF4（四氟化硅）分壓※1的變化。通過這個(gè)變化量，可以判斷蝕刻是否達(dá)到規(guī)定的深度（端點(diǎn)※2）。這有助于減少過度蝕刻和不足蝕刻的風(fēng)險(xiǎn)，提高半導(dǎo)體制造過程的生產(chǎn)力和良率。

本產(chǎn)品搭載了2021年開發(fā)的HORIBA獨(dú)自的紅外氣體分析技術(shù)「IRLAM(アーラム)TM」，實(shí)現(xiàn)了對ppb級別的微量氣體進(jìn)行高靈敏度且高速（0.1秒）的測量。這將有助于判斷向邏輯半導(dǎo)體量產(chǎn)所需的GAA晶體管結(jié)構(gòu)和高aspectratio的接觸孔形成等先進(jìn)技術(shù)的端點(diǎn)。

四極質(zhì)譜儀

Micropole系統(tǒng)是世界的質(zhì)譜儀。它由9個(gè)四極桿部件構(gòu)成的結(jié)構(gòu)傳感器，用戶可以輕松更換，只需輸入傳感器相關(guān)的參數(shù)即可進(jìn)行校準(zhǔn)。與普通的質(zhì)譜儀相比，它在低真空（高壓力）區(qū)域運(yùn)行，不需要額外的設(shè)備。它非常適合于真空腔的條件管理和過程監(jiān)控。

特征

業(yè)界最小尺寸

相比其他公司縮小20倍，傳感器部分僅5厘米大小。非常適合裝置組裝。

獨(dú)自構(gòu)造傳感器

16根電極棒構(gòu)成9個(gè)四極部，盡管尺寸最小，但實(shí)現(xiàn)了高靈敏度。

低真空（高壓）操作

如果測量范圍在全壓0.5Pa以內(nèi)（2-65m/z傳感器的情況），則不需要準(zhǔn)備額外的差動(dòng)排氣系統(tǒng)。

用戶可以進(jìn)行傳感器更換

無需拆卸機(jī)器，即可在現(xiàn)場輕松更換校準(zhǔn)過的濾波器。

通信

可以從安裝了隨附軟件的1臺(tái)PC通過RS-485通信連接8臺(tái)。此外，還配備了適合裝置組合的模擬輸入輸出。

專用軟件

為QL-SG02開發(fā)的用戶友好型MicropoleScannerTM2軟件可以控制QL-SG02，獲取和可視化數(shù)據(jù)并進(jìn)行分析。

在線氣體監(jiān)測儀IR-400系列

半導(dǎo)體制造的成膜工藝隨著微細(xì)加工的進(jìn)步，保持處理后的腔室處于清潔狀態(tài)被認(rèn)為是提高生產(chǎn)力的關(guān)鍵。IR-400Series是一種用于成膜工藝腔室清潔的終點(diǎn)檢測監(jiān)測器，能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)控排氣成分（SiF4、CF4）。它優(yōu)化了干法清潔的終點(diǎn)檢測，減少了清潔氣體的使用量和時(shí)間，降低了腔室損壞，從而延長了部件的使用壽命。

氣體濃度監(jiān)測器IR-300系列

用于氣相生長的氣態(tài)濃度監(jiān)測。確保材料氣體的穩(wěn)定供應(yīng)。

在LED制造過程和光器件制造過程中廣泛使用的MOCVD（有機(jī)金屬氣相生長法）。這種MOCVD裝置使用液體/固體材料，通常通過氣泡方式將氣體供應(yīng)到腔室內(nèi)。為了實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的成膜過程，材料氣體供應(yīng)線路中實(shí)時(shí)氣體濃度監(jiān)測是重要的。氣體濃度監(jiān)測IR-300系列被引入MOCVD裝置的材料氣體供應(yīng)線路中，實(shí)現(xiàn)了線路的高速氣體濃度監(jiān)測。支持材料氣體的穩(wěn)定供應(yīng)