堀場(chǎng)HORIBA微型壓力控制裝置GR-511F

堀場(chǎng)HORIBA微型壓力控制裝置GR-511F

微型壓力控制裝置GR-511F，GR-312F，GR-314F，GR-317F，GR-317F-EPV，數(shù)字自動(dòng)壓力調(diào)節(jié)器UR-Z700系列，UR-Z712MO (-B)，UR-Z712MC (-B)，UR-Z714MO (-B)，UR-Z714MC (-B)，UR-Z717MO (-B)，UR-Z717MC (-B)，UR-Z722MO (-B)，UR-Z722MC (-B)，UR-Z724MO (-B)，UR- Z724MC (-B)，UR-Z727MO (-B)，UR-Z727MC (-B)，UR-Z732MO (-B)，UR-Z732MC (-B)，UR-Z734MO (-B)，UR-Z734MC (-B)，UR-Z737MO (-B)，UR-Z737MC (-B)，壓電閥PV-1000，PV-2000，排氣壓力控制器EC-5104，EC-5105，EC-5202

產(chǎn)品介紹

GR-300系列能夠穩(wěn)定且高精度地控制晶圓背面溫度所需的氦氣和氬氣等傳熱氣體的壓力。它配備了高速、高分解的壓電閥和質(zhì)量流量傳感器，不僅能夠準(zhǔn)確且穩(wěn)定地進(jìn)行微差壓控制，還能夠進(jìn)行流量計(jì)量。

特征

正確?穩(wěn)定供應(yīng)

搭載質(zhì)量流量傳感器

搭載廣泛應(yīng)用于質(zhì)量流量控制器的質(zhì)量流量傳感器，能夠以與材料氣體供應(yīng)過程相同的精度進(jìn)行實(shí)際流量的監(jiān)測(cè)。

等同于質(zhì)量流量控制器的尺寸

由于與質(zhì)量流量控制器具有相同的尺寸和接口，因此可以進(jìn)行類似的的設(shè)計(jì)和施工。

符合RoHS指令

數(shù)字自動(dòng)壓力調(diào)節(jié)器

高精度壓力傳感器、采用高分辨率?高速響應(yīng)的壓電閥的數(shù)字控制回路的自動(dòng)壓力調(diào)節(jié)器。可以通過各種外部信號(hào)進(jìn)行遠(yuǎn)程操作，自動(dòng)調(diào)整壓力。

接入氣體部分采用全金屬，死體積極少，因此非常適合腐蝕性氣體或低蒸汽壓氣體等。

壓電閥

這是利用外部機(jī)器的控制信號(hào)來控制氣體流量或壓力的高速響應(yīng)閥門。采用金屬隔膜和金屬O形環(huán)。接頭部分為全金屬結(jié)構(gòu)，符合超清潔要求。不僅可以控制氣體，還可以控制液體的流體系統(tǒng)。

EC 系列

排氣壓力控制器

這是一個(gè)用于將腔室內(nèi)壓力控制在任意值的排氣壓力控制器。通過高分解能的步進(jìn)電機(jī)和蝶閥，實(shí)現(xiàn)了高速響應(yīng)和高分解能的性能。