液體材料氣化裝置MV-2000堀場HORIBA

液體材料氣化裝置MV-2000堀場HORIBA

液體材料氣化裝置MV-2000，緊湊型直接注入裝置VC-1420，緊湊型加熱裝置LSC系列，大流量蒸汽發(fā)生器LE系列，脈沖噴射氣化裝置VAPBOX 系列

產(chǎn)品介紹

液體材料氣化裝置MV-2000

這是一個用于氣化（氣化）純水和液體材料的系統(tǒng)。通過使用龍卷風(fēng)流方式實現(xiàn)高效氣化，從而在低溫下實現(xiàn)穩(wěn)定氣化。作為在半導(dǎo)體工藝中使用的“液體材料：High-k材料等"的穩(wěn)定氣化系統(tǒng)，這是一個最佳型號。通過設(shè)置載體氣體控制用質(zhì)量流量控制器和液體材料的流量測量用質(zhì)量流量計，完成高效氣化系統(tǒng)。

特征

采用龍卷風(fēng)流方式實現(xiàn)穩(wěn)定氣化　

通過高效氣化方式，在低溫下實現(xiàn)穩(wěn)定氣化。

即使在容易熱分解的液體材料中，氣化性能也有所提高。

采用龍卷風(fēng)流方式的大流量氣化

通過高效氣化方式，即使在與公司傳統(tǒng)產(chǎn)品相同的溫度條件下也能實現(xiàn)大流量氣化。

通過相同的占地面積實現(xiàn)大流量化，無需新的布局變更。

緊湊型氣化系統(tǒng)得以構(gòu)建，理想的布局設(shè)計成為可能

RoHS指令対応

緊湊型直接注入裝置VC-1420

非載體型的緊湊型直接噴射系統(tǒng)。通過與高溫耐受的的質(zhì)量流量計結(jié)合，可以構(gòu)建一個無需載體氣體即可瞬間氣化液體材料的緊湊型系統(tǒng)。

在系統(tǒng)構(gòu)成上，作為基本構(gòu)成，包括用于液體材料流量測量的“液體質(zhì)量流量計"或用于氣化氣體流量測量的“高溫用質(zhì)量流量計"以及氣化系統(tǒng)“VC"，根據(jù)客戶的應(yīng)用需求，我們將對系統(tǒng)進行升級，添加閥門、過濾器、加熱器等設(shè)備。

緊湊型加熱裝置LSC系列

是以純水為首的各種各樣的液體材料氣化，控制任意的流量供給的系統(tǒng)。從微小流量到大流量，可以穩(wěn)定氣化。發(fā)生氣化時也將液體材料向氣化罐供給，可以長時間連續(xù)發(fā)生。

大流量蒸汽發(fā)生器LE系列

這是一個用鋁合金鑄造的具有高汽化效率的大流量蒸汽發(fā)生器，配有流路配管和加熱器。