數(shù)字質(zhì)量流量控制器SEC-Z522MGX堀場(chǎng)HORIBA

數(shù)字質(zhì)量流量控制器SEC-Z522MGX堀場(chǎng)HORIBA

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產(chǎn)品介紹

數(shù)字質(zhì)量流量控制器SEC-Z522MGX

用戶側(cè)可以更改氣體種類和流量范圍的多功能/多氣體功能的數(shù)字質(zhì)量流量控制器的暢銷型號(hào)。

±1.0%S.P.的高精度、全范圍1秒以內(nèi)的高速響應(yīng)、實(shí)現(xiàn)5SCCM到500SLM的寬范圍。通信方式可以選擇數(shù)字/模擬、DeviceNet™、EtherCAT®通信。不僅是頂端工藝，也是各種制造工藝的最佳質(zhì)量流量控制器。

SEC-N112MGM

10SCCM到1000SLM的寬泛流量控制范圍，具有數(shù)字、模擬、DeviceNet™、CC-Link®、PROFIBUS™、EtherCAT®等多種可選通信方式，適用于各種工業(yè)和應(yīng)用的通用型號(hào)數(shù)字質(zhì)量流量控制器。具有±1.0%S.P.的高精度、全范圍1秒以內(nèi)的高速響應(yīng)、還具備多范圍/多氣體功能